首页 > 物理气相沉积

三要素： 1) 镀料的气化。 即使镀料蒸发，升华或被溅射，也就是通过镀料的气化源。 2) 镀料原子、分子或离子的迁移。 由气化源供出原子、分子或离子经过碰撞后，产生多种反应。 3) 镀料原子、分......