PVD真空镀膜原理是什么

PVD真空镀膜原理是什么

目前常用的PVD有三种:真空蒸镀、溅射镀膜和离子镀;它们的工作原理如下:1、真镀空膜:是在适当的压强下用电子束等热源加热材料使之蒸发,蒸发的原子或分子直接在工件表面形成沉积层; 2、溅射镀膜:是......