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MOCVD（金属有机化学气相沉积）是一种用于生长薄膜的工艺，它通过将金属有机化合物和气相反应源物质在高温下分解，使金属原子沉积在衬底上，形成薄膜。 该工艺流程包括衬底表面的清洗、预热、衬底的放置......